2022年7月10日，建設單位浙江晶睿電子科技有限公司邀請相關單位人員及專家組成驗收工作組，根據浙江齊鑫環境檢測有限公司編制的《浙江晶睿電子科技有限公司晶圓片和外延片制造項目先行竣工環境保護驗收監測報告》（QX(竣)20220603），并對照《建設項目竣工環境保護驗收暫行辦法》（國環規環評[2017]4號），嚴格依照國家有關法律法規、建設項目竣工環境保護驗收技術指南、本項目環境影響報告書和審批文件等要求對本項目環境保護設施進行驗收，內容如下：

一、工程建設基本情況

（一）建設地點、規模、主要建設內容

   浙江晶睿電子科技有限公司成立于2020年5月25日，企業看好外延片及拋光片的市場發展前景，通過公開競價競得麗水市蓮都區南明山街道南明路771號地塊，地塊總占地面積100212m²，并在該地塊新建廠房、倉庫及附屬設施，實施電子晶圓片和外延片制造項目。項目主要采用先進的生產技術和生產設備，建成年產996萬片各種品類的拋光片、外延片的生產能力。

項目東側為南明路，隔路為杰祥科技有限公司；南側為七百秧街，隔路為麗水東華宏泰科技有限公司；西側和北側為在建空地。項目實際員工160人，實行二班制工作制度，年工作300天。

（二）建設過程及環保審批情況

該項目已在麗水經濟開發區發展和改革局登記備案，根據項目備案通知書（項目代碼2020-331151-39-03-172500），建設單位向環保部門辦理環保相關許可手續。

建設單位于2021年12月委托麗水市環科環保咨詢有限公司編制了《浙江晶睿電子科技有限公司晶圓片和外延片制造項目環境影響報告書》，并于2021年12月29日取得麗水市生態環境局出具的《關于浙江晶睿電子科技有限公司晶圓片和外延片制造項目環境影響報告書的審批意見》（麗環建開[2021]39號）。

建設單位目前尚未納入重點排污管理名錄，排污許可證按照登記管理，文件號《91331100MA2E3ENF7P001Y》，登記日期為2022年6月27日。企業現已完成設備安裝，調試。

（三）投資情況

項目實際總投資50000萬元，其中環保投資1000萬元，占比0.02%。

（四）驗收范圍

本次為浙江晶睿電子科技有限公司晶圓片和外延片制造項目先行驗收，驗收范圍為年產120萬片外延片及其配套的環保設施。

二、工程變動情況

根據現場踏勘情況和驗收監測報告，項目的性質、地點、生產工藝、主要生產設備等與環評基本一致，無重大變動。

三、環境保護設施建設情況

1.廢水：項目排水嚴格按照“清污分流、雨污分流”原則實施。項目產生的廢水主要有純水制備濃縮水、純水制備清洗廢水、含氟廢水、鍋爐排污廢水、噴淋塔廢水、酸堿廢水、生活污水。

（1）純水制備濃縮水

本項目RO水制備過程中會產生濃縮水。該股水為清下水，可納入市政雨水管網。

（2）純水制備清洗廢水

設備反沖洗和再生過程反清洗水，該股廢水引入廠區污水站的后道沉淀系統處理處理達到《電子工業水污染排放標準》GB39731-2020）中表1間接排放限值納工業區污水管網，進入水閣污水處理廠統一處理。

（3）含氟廢水

含氟廢水主要來自氫氟酸清洗的后道清洗，該股廢水引入廠區污水站處理達到《電子工業水污染排放標準》（GB39731-2020）中表1間接排放限值納工業區污水管網，進入水閣污水處理廠統一處理。

（4）鍋爐排污廢水

本項目蒸汽冷凝水可回用，但鍋爐在運行過程中需定期排放部分污水，該股廢水引入廠區污水站處理處理達到《電子工業水污染排放標準》（GB39731-2020）中表1間接排放限值納工業區污水管網，進入水閣污水處理廠統一處理。

（5）噴淋塔廢水

項目有機廢氣均采用噴淋工藝進行廢氣處理，長時間使用后的噴淋廢水引入廠區污水站處理處理達到《電子工業水污染排放標準》（GB39731-2020）中表1間接排放限值納工業區污水管網，進入水閣污水處理廠統一處理。

（6）酸堿廢水

主要為酸性試劑使用的后道清洗，酸堿廢水經pH調節+沉淀處理后回用于氫氟酸清洗工序不外排。

（7）生活污水

生活廢水主要來自員工生活，經廠區自建化糞池設施處理達《電子工業水污染排放標準》（GB39731-2020）中表1間接排放限值納工業區污水管網，進入水閣污水處理廠統一處理。

2．廢氣：現狀項目營運過程中產生的廢氣主要是酸性廢氣、堿性廢氣、外延爐廢氣、鍋爐燃燒煙氣。

（1）酸性廢氣

根據現場調查，項目生產工段均布置在密閉無塵間內，酸性廢氣包含HF、HCl、硝酸，各工段廢氣經收集后通過支風管引至主風管，再通過主風管管道引至堿性廢氣洗滌塔（NaOH堿液噴淋）處理后通過15m高排氣筒排放。

（2）堿性廢氣

根據現場調查，項目生產工段均布置在密閉無塵間內，堿性廢氣為氨氣，各工段廢氣經收集后通過支風管引至主風管，再通過主風管管道引至酸性廢氣洗滌塔（硫酸噴淋）處理后通過15m高排氣筒排放。

（3）外延爐廢氣

項目現狀共設置了31臺外延爐，設置的外延爐均配套了相應的堿性廢氣洗滌設施處理（根據外延爐不同型號采用一對一或者一對多方式處理），最后由15m排氣筒排放（合計41根）。

（4）鍋爐燃燒煙氣

項目現狀設置了一臺6t/h的天然氣鍋爐，主要為純水制備以及無塵室的溫度調節提供熱源，使用頻率較少，產生的燃燒廢氣經15m排氣筒排放。

3．噪聲：項目噪聲主要來自于生產過程中各類生產運行過程產生的機械噪聲，企業采取的噪聲防治措施主要有：

1)、選購高效、低噪設備，對噪聲較大的設備安裝減震墊，并加強設備日常檢修和維護。設備合理布局。

2)、提倡文明生產，提高員工的環保意識，減少不必要的噪聲污染。

3)、加強廠區四周的綠化、提高植被覆蓋度等。

4．固廢：項項目現狀先行驗收產生的固體廢物主要有廢酸液、廢堿液、污泥（含一般污泥和生產廢水污泥）、危廢包裝容器、職工生活垃圾、廢滲透膜，處置措施如下：

（1）廢酸液

屬于《國家危險廢物名錄》（2021版）判定的危險廢物（398-007-34），密閉儲存后暫存至危廢倉庫，定期委托有資質的單位處置。

（2）廢堿液

主要為廢氨水，屬于《國家危險廢物名錄》（2021版）判定的危險廢物（900-352-35），密閉儲存后暫存至危廢倉庫，定期委托有資質的單位處置。

（3）污泥

①生化處理污泥和一般廢水處理過程會產生污泥，該類污泥屬于一般固廢，收集后外運至污泥焚燒廠處理。

②生產廢水處理污泥屬于《國家危險廢物名錄》（2021版）判定的危險廢物（900-047-49），收集后委托有資質單位處置。

（4）危廢包裝容器

包含酸液的包裝桶，屬于《國家危險廢物名錄》（2021版）判定的危險廢物（900-041-49），收集后委托有資質單位處置。

（5）職工生活垃圾

主要是職工生活中產生的生活垃圾，收集后委托環衛部門清運。

（6）廢滲透膜

純水制備的滲透膜需定期更換，收集后委托環衛部門清運。

四、環境保護設施調試效果及工程建設對環境的影響

根據建設項目竣工環境保護驗收監測報告表，項目監測期間環境保護設施調試效果如下：

1、廢水：項目廠區總排口廢水中pH值范圍、懸浮物、化學需氧量、五日生化需氧量、總磷、總氮、氟化物、石油類排放濃度均符合《電子工業水污染排放標準》（GB39731-2020）中表1間接排放限值，其中氨氮排放符合《工業企業廢水氮、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2013）中標準限值要求。

2、廢氣：有組織廢氣：項目外延爐排氣筒群出口非甲烷總烴、氯化氫排放均符合《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中二級標準及排放速率要求；

項目鍋爐排氣筒出口顆粒物、二氧化硫、煙氣黑度均符合《鍋爐大氣污染物排放標準》（GB13271-2014）中新建燃氣鍋爐標準要求，其中氮氧化物符合《燃氣鍋爐低氮改造工作技術指南（試行）》中標準要求。（即＜50mg/m3。

項目酸性洗滌塔排氣筒出口氯化氫、氟化物、氮氧化物均符合《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中二級標準及排放速率要求。

無組織廢氣：廠界無組織顆粒物、非甲烷總烴、氯化氫、氟化物、氮氧化物、二氧化硫均符合《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）無組織標準要求；氨氣、臭氣濃度符合《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）廠界標準要求。

3、噪聲：項目廠界西側、北側晝間噪聲和夜間噪聲均符合《工業企業廠界環境噪聲排放標準》（GB12348-2008）中3類標準要求，廠界東側、廠界南側符合4a類標準要求。

4、固廢：項目一般固廢處理處置符合《一般工業固體廢物貯存和填埋污染物控制標準》（GB18599-2020）的要求。

項目危險廢物處理處置符合《危險廢物貯存污染控制標準（GB18597-2001）及修改單中相關規定。

5、總量控制

根據總量核算，本項目總量控制指標符合排污許可證總量控制要求，因此，本項目符合總量控制。

五、驗收結論

    依據《建設項目竣工環境保護驗收暫行辦法》（國環規環評[2017]4號），浙江晶睿電子科技有限公司晶圓片和外延片制造項目先行環保手續齊全。根據《浙江晶睿電子科技有限公司晶圓片和外延片制造項目先行竣工環境保護驗收監測表》等資料及環境保護設施現場檢查情況，企業基本落實了“環評文件”的相關要求，并按要求公示驗收情況。

   公示日期：2022年8月8日-9月8日

   聯系人：吳留平

   聯系電話：18001439198

   公示網站：http://www.rxkcxl.cn/default.aspx?pageid=65

浙江晶睿電子科技有限公司驗收監測報告書.pdf